產(chǎn)品品牌：

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產(chǎn)品型號(hào)：

M3030V/A

韓國(guó)原裝進(jìn)口高氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器，使用特別的熱傳感器和控制電路提高計(jì)算。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)和其他行業(yè)，產(chǎn)品設(shè)計(jì)堅(jiān)固、耐用，且經(jīng)濟(jì)。 應(yīng)用： l 所有工業(yè) l 氣體混合及分析 l 注氣、表面加工行業(yè)（PVC,CVD,反應(yīng)器等） l 半導(dǎo)體工業(yè) l 部件泄露檢測(cè) l 產(chǎn)品研究和開(kāi)發(fā) l 高壓行業(yè) l 光纖 l 燃料電池 l 反應(yīng)器系統(tǒng) l 氣體的混合系統(tǒng) 優(yōu)勢(shì)： l 測(cè)量質(zhì)量流量 l 不需要溫度、壓力補(bǔ)償 l 緊湊的流量控制系統(tǒng) l 高（±1%F.S） l 耐高壓（95公斤） l 快速響應(yīng)時(shí)間（＜1秒） l 高重復(fù)性（±0.25%F.S) 規(guī)格：

型號(hào)	M3030V/A
流量范圍（N2)	0.01~30 slpm
響應(yīng)時(shí)間	＜2秒
度	±1%
重復(fù)	±0.25%
輸入輸出信號(hào)	0~5Vdc or 4~20mA
供電	+15Vdc or +24Vdc,350mA
工作壓力	5~1300 psia
工作溫度	0~50℃
漏率	1×10-9atm.cc/sec
控制范圍	2~100%