Brooks提供面向各種應(yīng)用需求和真空測(cè)量范圍的真空測(cè)量方案。Granville-Phillips規(guī)管、電子氣件、模塊化真空產(chǎn)品，和量身定制的解決方案呈現(xiàn)出適應(yīng)性廣，性和特性，從而滿足各種市場(chǎng)需求，這些應(yīng)用包括半導(dǎo)體及相關(guān)工藝、分析儀器和科研院校的研究和工業(yè)制造。

      Granville-Phillips產(chǎn)品線覆蓋從10^-10Torr到大氣壓的真空測(cè)量范圍。我們的產(chǎn)品設(shè)計(jì)適用于本地和遠(yuǎn)程控制的要求，或者是柜式安裝形式的控制器或者本地模塊化的測(cè)量方案。同時(shí)，Granville-Phillips還可以從簡(jiǎn)單的模擬量信號(hào)到各種數(shù)字通訊協(xié)議的多種輸出形式特性選擇。增加本地 顯示和遠(yuǎn)程控制I/O功能可以顯著減少系統(tǒng)集成成本。如果性、穩(wěn)定性和性是您的真空制程系統(tǒng)和產(chǎn)能，那么Granville-Phillips就是您的真空計(jì)系統(tǒng)的選擇。

       835 VQM TM（真空質(zhì)量監(jiān)控儀）分壓泵系統(tǒng)。Granville-Phillips的分壓系統(tǒng)是獲獎(jiǎng)的真空質(zhì)量監(jiān)控儀（VQMTM ）的真空壓力范圍擴(kuò)展產(chǎn)品。其具有VQM的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，包括響應(yīng)速度快和使用便捷，可用于工藝檢測(cè)和工藝控制。

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

• 工作壓力從3Torr到5x10-9 Torr
• 在85毫秒內(nèi)完成質(zhì)量數(shù)從1到145的氣體分析壓力測(cè)量；并可提供1到300質(zhì)量數(shù)范圍的測(cè)量
• 可提供所識(shí)別的個(gè)比例的氣體成分的即時(shí)信息包括趨勢(shì)圖
• 的氫氣和氦氣檢測(cè)（無(wú)低質(zhì)量數(shù)成分測(cè)量分壓全壓現(xiàn)象）
• 85毫秒內(nèi)完成1-145質(zhì)量數(shù)樣本數(shù)據(jù)的記錄；120毫秒內(nèi)完成1-300質(zhì)量數(shù)樣本數(shù)據(jù)的記錄
• 可利用真空系統(tǒng)內(nèi)已有的氣體進(jìn)行單一氣體校準(zhǔn)
• 緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可靈活安裝

GUTS ®支持體系

Granville Phillips產(chǎn)品均有GUTS（不受版權(quán)保護(hù)或相似自由的支持）的快速響應(yīng)網(wǎng)絡(luò)提供強(qiáng)大支持以及我們的客戶支持計(jì)劃的支持。當(dāng)您致電GUTS服務(wù)中心時(shí)，我們從技術(shù)支持人員中精心挑選出來(lái)的真空將立即為您提供令人滿意的解答和操作。我們每天365天、每天24小時(shí)全天候?yàn)槟哒\(chéng)服務(wù)。如果在美國(guó)，請(qǐng)撥打1-800-FOR-GUTS（800-367-4887）。