Brooks提供面向各種應(yīng)用需求和真空測(cè)量范圍的真空測(cè)量方案。Granville-Phillips規(guī)管、電子氣件、模塊化真空產(chǎn)品，和量身定制的解決方案呈現(xiàn)出適應(yīng)性廣，性和特性，從而滿(mǎn)足各種市場(chǎng)需求，這些應(yīng)用包括半導(dǎo)體及相關(guān)工藝、分析儀器和科研院校的研究和工業(yè)制造。
Granville-Phillips產(chǎn)品線(xiàn)覆蓋從10-10Torr到大氣壓的真空測(cè)量范圍。我們的產(chǎn)品設(shè)計(jì)適用于本地和遠(yuǎn)程控制的要求，或者是柜式安裝形式的控制器或者本地模塊化的測(cè)量方案。同時(shí)，Granville-Phillips還可以從簡(jiǎn)單的模擬量信號(hào)到各種數(shù)字通訊協(xié)議的多種輸出形式特性選擇。增加本地 顯示和遠(yuǎn)程控制I/O功能可以顯著減少系統(tǒng)集成成本。
如果性、穩(wěn)定性和性是您的真空制程系統(tǒng)和產(chǎn)能，那么Granville-Phillips就是您的真空計(jì)系統(tǒng)的選擇。
835真空質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)。Granville-Phillip®的真空質(zhì)量監(jiān)控儀（Vacuum Quality Monitor, VQMTM）結(jié)合了的氣體分析技術(shù)和智能儀表的設(shè)計(jì)理念，使得復(fù)雜的測(cè)量變成了可識(shí)別的信息。835VQM系統(tǒng)是目前世界上速度快，耗能的氣體成分分析儀，它在85毫秒內(nèi)完成1到145質(zhì)量數(shù)的氣體分子的數(shù)據(jù)收集、質(zhì)譜分析和數(shù)據(jù)記錄等工作，或是120毫秒內(nèi)監(jiān)控1-300質(zhì)量數(shù)的成分?？蛇x擇部分掃描功能從而獲得更快的掃描速度。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：
- 的Stabile-Ion規(guī)管性能集中于緊湊的模塊中
- 從10-11 Torr （10-11 mbar，10-9 Pa）開(kāi)始的精準(zhǔn)的真空壓力測(cè)量
- 雙燈絲規(guī)管結(jié)構(gòu)增加了設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間
- 模擬量或DeviceNet接口
- 模塊化設(shè)計(jì)允許快速簡(jiǎn)單地進(jìn)行規(guī)管更換
- DeviceNet型獲CE
GUTS ®支持體系
Granville Phillips產(chǎn)品均有GUTS（不受版權(quán)保護(hù)或相似自由的支持）的快速響應(yīng)網(wǎng)絡(luò)提供強(qiáng)大支持以及我們的客戶(hù)支持計(jì)劃的支持。當(dāng)您致電GUTS服務(wù)中心時(shí)，我們從技術(shù)支持人員中精心挑選出來(lái)的真空將立即為您提供令人滿(mǎn)意的解答和操作。我們每天365天、每天24小時(shí)全天候?yàn)槟哒\(chéng)服務(wù)。如果在美國(guó)，請(qǐng)撥打1-800-FOR-GUTS（800-367-4887）。
