APS　150G分析型探針臺(tái)
　　
　　一、基本配置信息：
　　1.探針臺(tái)本體：
　　*Analysis　6"Probe　Station（分析型6"探針臺(tái)）（可選8"、12"）
　　*6"vacuum　chuck（6"真空卡盤））（可選8"、12"）
　　*Ball　screw　drived　chuck　stage（滾珠絲桿精密調(diào)節(jié)平臺(tái)）
　　*Chuck　stage　travel　X，Y　150mm（卡盤平臺(tái)X，Y行程150mm）
　　根據(jù)需求行程可選200mm（APS　200型）或其它
　　*Manual　chuck　theta　adjustment（手動(dòng)卡盤旋轉(zhuǎn)調(diào)整）：＋/-0.1度（旋轉(zhuǎn)）
　　*Chuck　up-down　5mm（卡盤升降5mm行程）升降臺(tái)調(diào)節(jié)：15度，；4mm，＋/-1um（垂直）
　　*Microscope　stage　travel　X，Y　25mm（顯微鏡載物臺(tái)X，Y行程25毫米）。調(diào)節(jié)：＋/-1um
　　
　　2.探針座：DC　Probe　Head　探針座（可選其它探針座及RF高頻探針座）
　　*Foot　dimension（底部尺寸）70　x　35mm
　　*Travel　range（X，Y軸行程范圍）12mm
　　*Travel　range（Z軸行程范圍）12mm
　　*Feature　Resolution（）1um
　　*Vacuum　base（磁吸附）
　　注：磁吸附系配置新設(shè)計(jì)開關(guān)磁吸裝置；可選擇真空吸附；
　　仰角裝置，可對(duì)夾持的探針進(jìn)行仰角角度的調(diào)節(jié)；
　　
　　3.顯微鏡：Microscope　System　for　High　Magnification
　　率顯微鏡系統(tǒng)
　　*Magnification　up　to　500X（放大倍率500X）
　　注：可選更率鏡頭，如：100X物鏡，即總倍率1000X；
　　*Fiber　Light　Guide（光纖傳導(dǎo)）：1.5m
　　*Light　Source（光源）：100W
　　*CCD　port（CCD接口）
　　*目鏡：WF10X/24，視場(chǎng)直徑　24mm，矯正色差
　　*物鏡：10X，20X，50X
　　*雙目頭：瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm
　　*上主體：分光比為50：50或0：100
　　*管鏡：1X　NUV/VIS
　　*齊焦距離：95mm
　　*調(diào)焦機(jī)構(gòu)：調(diào)焦行程：52mm
　　*粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn)
　　*微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn)
　　*微動(dòng)手輪　1μm/格
　　*承載重量：45磅（20.4Kg）
　　
　　4.CCD：C-MOS　camera　1/2　300萬像素
　　
　　二、規(guī)格：
　　
　　組件/型號(hào)  APS　150  APS　200
　　真空吸附卡盤  150mm　不銹鋼  200mm　不銹鋼
　　主體平臺(tái)XY移動(dòng)行程  149mm*150mm  199mm*200mm
　　旋轉(zhuǎn)角度  0-30O  0-30O
　　Z軸行程  5mm  5mm
　　顯微鏡平臺(tái)移動(dòng)行程  25mm*25mm  25mm*25mm
　　探針臺(tái)本體  固定式  固定式
　　樣品尺寸  5*5至150mm  5*5至200mm
　　真空卡盤平坦度  10um  10um
　　尺寸  580*460*700（mm）  660*660*700（mm）
　　重量  60kg  80kg
　　
　　
　　三、可選項(xiàng)：
　　*各類光學(xué)顯微鏡
　　*真空吸附卡盤
　　*加熱卡盤
　　*客戶定制移動(dòng)平臺(tái)
　　*高頻探針、電纜線
　　*低電流/電容量測(cè)
　　*高電壓量測(cè)
　　*CCD　相機(jī)
　　*探針夾具
　　*探針
　　*真空泵
　　*屏蔽箱
　　*振桌
　　*適配器
　　*轉(zhuǎn)接頭