DPS雙面探針臺
　　雙面探針臺主要適用于所測樣品需雙面點(diǎn)針的相關(guān)電學(xué)測試，DPS點(diǎn)針方式為（Up/Down）上下點(diǎn)針；
　　另外，我公司針對于雙面探針臺點(diǎn)針方式特研發(fā)LR系列產(chǎn)品（L/R）左右點(diǎn)針解決方案；
　　一、基本配置信息
　　1.探針臺本體
　　*4"、6"、8"真空吸附卡盤
　　*滾珠螺桿驅(qū)動卡盤裝置
　　*X，Y　行程：150mm（可根據(jù)需求選擇其它范圍）
　　*精密推拉裝盤裝置
　　*手動卡盤360度調(diào)整
　　*顯微鏡X，Y，Z平臺移動行程25mm（可根據(jù)需求選擇其它范圍）
　　2.DC　探針座　Probe　Head（可選其它或高頻應(yīng)用探針座）
　　*外型尺寸：70　x　50mm
　　*X，Y行程：12mm
　　*Z行程：8mm
　　*：1um
　　*仰角調(diào)節(jié)裝置
　　*吸附方式：磁開關(guān)吸附（真空吸附可選）
　　
　　3.率顯微鏡系統(tǒng)（可選其它倍率光學(xué)顯微鏡）
　　*放大倍率　1X-500X
　　注：可選更率物鏡，如：100X物鏡，即總倍率1000X
　　*光源光纖傳導(dǎo)：1.5m
　　*鹵素?zé)艄庠矗?00W或更高
　　*CCD　C-mount國際標(biāo)準(zhǔn)接口
　　*目鏡：WF10X/24，視場直徑　24mm，矯正色差
　　*物鏡：10X，20X，50X，100X
　　*雙目頭：瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm
　　*上主體：分光比為50：50或0：100
　　*管鏡：1X　NUV/VIS
　　*齊焦距離：95mm；
　　*調(diào)焦機(jī)構(gòu)：調(diào)焦行程：52mm
　　*粗動手輪4mm/轉(zhuǎn)
　　*微動手輪0.1mm/轉(zhuǎn)
　　*微動手輪　1μm/格
　　*承載重量：45磅（20.4Kg）
　　4.CCD　相機(jī)
　　*包括圖像采集卡等
　　5.探針夾具及電纜線（根據(jù)測試需求可選其它配置）
　　*Tube　Holder/1.5m　Triax　cable/Triax　male
　　6.探針　Probe　Tip（可選項(xiàng)）
　　*1　um　探針
　　7.真空泵
　　8.屏蔽箱
　　9.振桌
　　10.適配器
　　11.轉(zhuǎn)接頭
　　12.電學(xué)測試設(shè)備
　　
　　二、探針座（Prober　Head）選擇，可選：直流、高頻、微/大電流、高功率、高電壓等…