該機主要用于半導(dǎo)體材料、玻璃、陶瓷、鉭酸鋰、鈮酸鋰等脆硬材料的切割。
　　主要技術(shù)特點
　　采用精密滾動軸承的立式主軸結(jié)構(gòu)，具有主軸剛度大、高、壽命長、不易振動的特點。
　　工作臺采用精密直線導(dǎo)軌，交流伺服系統(tǒng)，調(diào)速范圍寬，低速性好，可滿足不同材料切割要求，拓寬了適用范圍。
　　送料系統(tǒng)采用步進電機及驅(qū)動模塊，系統(tǒng)穩(wěn)定，高。
　　采用PLC可編程控制器，控制簡潔，易于維護。
　　采用彩色觸摸屏，人機界面美觀，操作靈活，便于人性化管理。
　　
　　主要技術(shù)指標(biāo)
　　切割晶棒直徑：153mm
　　刀片規(guī)格：690mm×241mm×0.15mm或690mm×235mm×0.15mm
　　切割晶棒長度：400mm
　　切割進給速度：0.2～120mm／min
　　切割返回速度：1～1000mm／min
　　主軸轉(zhuǎn)速：1420r／min
　　送料進給步距偏差：&plun;0.005mm（按1mm當(dāng)量進給）
　　片厚設(shè)定范圍：0.001～68.000mm
　　片厚設(shè)定分辨率：0.001mm
　　晶向調(diào)節(jié)：水平方向（X）&plun;7°（分辨率2′）
　　垂直方向（Y）&plun;7°（分辨率2′）
　　功耗：3.5kW，～380V&plun;38V，50Hz&plun;1Hz
　　空氣源：0.4～0.5MPa；250L／min（剎車瞬時）
　　冷卻水源：0.2～0.4MPa；5L／min
　　觸摸屏：7.7英寸
　　外形尺寸：1645mm×925mm×2820mm
　　重量：2500kg