反應(yīng)艙：
　　材料：鋁
　　尺寸：600 x 600 x 600mm
　　容積：216升
　　艙門：裝有可視窗口
　　托盤：5個(gè)。尺寸：562 x 660 x 40mm
　　真空度測(cè)量：
　　皮拉尼真空計(jì)（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測(cè)量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）
　　真空泵：
　　旋片式真空泵；60m3每小時(shí)；含真空泵油。
　　頻射發(fā)生器：
　　0~1000W可調(diào)，100KHz發(fā)生器
　　控制系統(tǒng)：
　　觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
　　PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：
　　1、自動(dòng)控制反應(yīng)過程；
　　2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；
　　3、測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
　　4、監(jiān)測(cè)的運(yùn)行指標(biāo)，在設(shè)定范圍之內(nèi)；
　　5、設(shè)定操作、維護(hù)。
　　電源：
　　380V AC、三相、50Hz、40A.
　　反應(yīng)氣體：
　　一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶需要，可擴(kuò)展
　　氣體輸入：
　　直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.
　　尾氣排放：
　　直徑28mm 輸出端口。
　　性能：
　　急停開關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE。
　　
　　可選件：
　　300 m3/小時(shí)的機(jī)械增壓泵
　　頻射發(fā)生器：2.45GHz，13.56MHz
　　多個(gè)氣體輸入管道。
　　根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
　　根據(jù)客戶要求制作的托盤。
　　輥輪式載料系統(tǒng)。
　　N2 Purge.