A100-AFM裝備了閉環(huán)樣品定位系統。
　　
　　它了定位的在10納米（這比市場上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍）。
　　這些突出的特性，再配以APE研究的的軟件工具，使得這款儀器適用于納米光刻。
　　A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺，這了高平面度使得用戶可以進行大范圍的測量（可以100微米）。
　　APE研發(fā)了原子力顯微鏡的附加工具，這可以用于一些具體的測量模式（如EFM（靜電力顯微鏡），MFM（磁力顯微鏡），Liquid cell（液體池））
　　我們還和意大利研究院合作研發(fā)其他工具以滿足用戶可能提出的要求。
　　
　　A100-SGS AFM
　　A100-SGS SPM（掃描探針顯微鏡）鏡臺
　　掃描鏡臺具有包含張力測量傳感器的定位系統
　　掃描器技術資料：
　　X-Y掃描范圍：
　　100*100微米（高電壓模式）；
　　10*10微米（低電壓模式）
　　高電壓模式分辨率：閉環(huán)：2nm，開環(huán)：0.2nm
　　閉環(huán)線性度：0.1%
　　Z掃描范圍：10微米（高電壓模式）；
　　1微米（低電壓模式）；
　　分辨率：0.16納米（高電壓模式），
　　0.02納米（低電壓模式）。
　　
　　AFM Head 適用于接觸模式，非接觸模式，半接觸模式和橫向力模式
　　AFM Head 具有工業(yè)級的懸臂支架保持器，該保持器可以移動（很容易在懸臂上安裝和拆卸），也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二管傳感器的前置放大器。
　　
　　SPMCU2-PI
　　SPM 控制單元
　　SPM控制單元和計算機（配別有多輸入輸出主板）驅動掃描器，數據采集和采樣運動
　　采樣距離的末端由噪聲的模擬反饋控制，該模擬反饋由計算機數字化驅動。
　　該系統的硬件時鐘是的和高的
　　
　　HVA3-PI Unit
　　高電壓放大器
　　H是一種高電壓放大器模塊可以驅動A-100 SGS 掃描鏡臺
　　
　　計算機和數據采集板
　　WindowsXP、Vista 操作系統；奔騰處理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM內存，160G硬盤，DVD光驅，鍵盤和鼠標，19寸液晶顯示器，采集板和接口。
　　
　　采集軟件
　　軟件運行是基于窗口的，為了儀器控制和數據采集，還支持多窗口操作。軟件具有簡易的濾波器可以實時分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的參數。
　　APE研究的儀器裝備了圖像測量數據分析軟件的基本模塊，另外14項可選的功能也可以的獲得。
　　輔助
　　光刻工具
　　隧道掃描顯微鏡工具
　　MFM（磁力顯微鏡）工具
　　EFM（電場力顯微鏡）工具
　　CAFM（導電原子力顯微鏡）工具
　　液體池
　　隔音箱
　　桌臺
　　其他可用的模塊