潘寧規(guī)（真空計）
成都道和電工研究所研發(fā)的真空潘寧規(guī)提供了的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰濺射鍍膜工藝上。
特點：
＞測量范圍廣：5 X 10-7～1 Pa
?。救饘倮潢幪沾蓚鞲衅?
＞新型幾何電提供了好的點火性能
＞降低等離子點火高電壓和鈦陰板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
＞陽環(huán)和鈦陰可清洗，更換容易
?。拘〈艌鰪姸葴y量
?。綥ED指示燈電源和等離子點火
?。緦?shù)模擬輸出信號
?。綟ieldbus總線接口，集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信
成都道和電工研究所研發(fā)的真空潘寧規(guī)提供了的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰濺射鍍膜工藝上。
特點：
＞測量范圍廣：5 X 10-7～1 Pa
?。救饘倮潢幪沾蓚鞲衅?
＞新型幾何電提供了好的點火性能
＞降低等離子點火高電壓和鈦陰板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
＞陽環(huán)和鈦陰可清洗，更換容易
?。拘〈艌鰪姸葴y量
?。綥ED指示燈電源和等離子點火
?。緦?shù)模擬輸出信號
?。綟ieldbus總線接口，集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信
