150mm:PM5(手動)、EP6 RF(手動)、EP6 DC(手動)、M150(手動)。(其中PM5、EP6為原SUSS產(chǎn)品,M150為原Cascade,但M150已停產(chǎn))。
200mm:PM8(手動)、Summit(半自動)、AP200(半自動)、The BlueRay Probe System(全自動)、AP200 BlueRay Probe System(全自動)、PA200 Semiautomatic Probe System(半自動)。
300mm:Elite 300、PA300、PA300ProbeShield 3D、PM300.
其他探針臺:EDGE 1/f Noise(精密噪聲測試,一款配置了儀器的設(shè)備)、Power Device(高電壓測試設(shè)備)、Wafer-Level Reliability、Vacuum probe System(真空)、Cryogenic probe Sysgtem(低溫)、Pressure probe System(高壓)、Double Side probe System(雙面)等等
特征與優(yōu)點
包括用于低噪聲和光敏測試的光屏蔽版本和電磁屏蔽版本
應(yīng)用靈活,是理想的高頻應(yīng)用測試工具
內(nèi)部空間可容納探針系統(tǒng)上的溫控卡盤、激光切片及視頻設(shè)備
可與SUSS的振臺集成
SE1000/1200于探針系統(tǒng),無振動影響







