小型等離子清洗機的應用：聚碳酸脂較差的脫模性會在從模板上脫下復制片時劃傷和阻斷數(shù)據點。這會導致非均勻性凹坑/凹槽壁，表現(xiàn)在復制片上就是瑕疵。這些不同的瑕疵現(xiàn)象分別叫做斑點、水紋、粘連或幻影，更多是基于外觀原因而非盤片的可讀性原因，是我們不希望看到的。當使用等離子體技術去除光刻膠時，用戶發(fā)現(xiàn)可以減少大約70%的這些缺陷，斑點可減少10%，而DVD上的水紋則被消除。這是等離子設備技術的又成功。
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