中型等離子清洗機(jī)：
　　主要應(yīng)用于LCD、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領(lǐng)域。
　　特點(diǎn)：元器件及部件采用，了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。
　　真空泵采用旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時(shí)間工作的體系，在氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，使泵的壽命大大，并降低了泵的維護(hù)成本，泵的各項(xiàng)保護(hù)措施完善，了長時(shí)間工作限，泵油為、氧化油，泵具有可自行溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部，使機(jī)器緊湊，占地面積小。
　　控制方式：自動(dòng)控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，工藝參數(shù)、工藝過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報(bào)警記錄和工藝曲線記錄、工作時(shí)間記錄，適合維護(hù)，可以提供工藝參考。
　　標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)：QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-10-PSP、QT-120-PSP、QT-150-PSP。
　　◎可存儲(chǔ)50組工藝配方，隨意調(diào)用。
　　◎清洗時(shí)間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設(shè)定可調(diào)。
　　◎工藝參數(shù)受保護(hù)，分級(jí)管理查詢。
　　◎一鍵完成全自動(dòng)工藝，實(shí)時(shí)故障報(bào)警、非法操作提示、清潔結(jié)束提示等。
　　◎自動(dòng)提醒系統(tǒng)維護(hù)、更換真空泵油等，避免機(jī)器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
　　◎氣體質(zhì)量流量計(jì)采用美國，由模擬輸入輸出，量程為0～20sccm可在量程范圍內(nèi)無級(jí)調(diào)節(jié)，根據(jù)的工藝要求可用PLC可對質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)而實(shí)現(xiàn)真空度的控制。
　　◎根據(jù)的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過濾器，過濾返油裝置等。電結(jié)構(gòu)（）的高等離子通量設(shè)計(jì)能很好地等離子體地均勻性及穩(wěn)定性。