1、設(shè)備名稱和型號(hào)
　　1.1設(shè)備名稱：單槽石英管清洗機(jī)
　　1.2設(shè)備型號(hào)：NXXD-4SH-01A
　　2、設(shè)備用途：
　　用于去除石英管表面的氧化層及雜質(zhì)
　　
　　3、設(shè)備概要
　　本設(shè)備適用于2″-6″石英管清洗，同時(shí)也可以清洗其它能放入清洗槽中的石英器具（石英槽、石英舟、石英臺(tái)等）。本設(shè)備由國內(nèi)親自指導(dǎo)設(shè)計(jì)，采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，在凈廠房組裝調(diào)試，此產(chǎn)品國內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)線使用要求。
　　
　　4、設(shè)備簡介
　　4.1設(shè)備整體尺寸：200mm（長）×800mm（寬）×2000mm（高）
　　4.2設(shè)備構(gòu)成：
　　設(shè)備骨架用低碳鋼制做，外包象牙白色PVC板，美觀腐蝕。
　　有1個(gè)槽體：HF酸槽／DIW沖洗槽。
　　槽的底部都有兩個(gè)滾動(dòng)軸，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。石英管放在滾動(dòng)軸上。清洗過程中，石英管按照速度轉(zhuǎn)動(dòng)（速度可設(shè)定）。兩個(gè)滾動(dòng)軸的間距能夠方便調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同直徑的石英管。槽內(nèi)有一個(gè)噴淋柱伸至石英管內(nèi)，使藥液能噴至石英管內(nèi)壁，起到清洗石英管內(nèi)壁的作用。設(shè)備還可以對石英槽、石英舟等石英器具進(jìn)行清洗，清洗時(shí)電機(jī)可設(shè)定待機(jī)狀態(tài)（既電機(jī)不轉(zhuǎn)動(dòng)）。請參見附圖。
　　
　　稀氟酸槽配有溢流、循環(huán)、過濾、鼓泡功能。通過循環(huán)泵、過濾器等組成的過濾系統(tǒng)，對藥液循環(huán)過濾，能延長藥液的使用時(shí)間。
　　采用數(shù)顯時(shí)間繼電器，清洗時(shí)間可在1-9999秒范圍內(nèi)設(shè)定
　　排風(fēng)系統(tǒng)通過設(shè)備后部夾層，從設(shè)備頂部接觸排氣管與用戶排氣系統(tǒng)連接
　　配有照明系統(tǒng)
　　配有前拉門，工作間內(nèi)的工作環(huán)境。