NXXD-SH-20型硅料清洗機適用于6-200mm多晶硅料的酸腐蝕、清洗處理。用戶操作人員手動上料后，手動酸腐蝕后，全過程自動化控制，減少人工干預。設備具有自動化程度高，運行成本低，生產效率高，性能穩(wěn)定，等特點。
　　
　　主要技術指標
　　槽體數量：腐蝕槽：1個
　　DI水清洗槽：1個
　　水中傳遞槽：1個
　　聲槽：3個
　　三級溢流槽：1個
　　
　　清洗硅料數量：每個提籃可放置15Kg硅料
　　使用氮氣壓力：0.3～0.5Mpa
　　氮氣流量：≤5-7L／min
　　接口管徑：OD 3／8″
　　使用壓縮空氣壓力：0.3～0.6MPa
　　壓縮空氣流量：≤5-7L／min
　　接口管徑：OD 3／8″
　　使用DI水壓力：0.3～0.4MPa
　　DI水流量：≤24L／min
　　接口管徑：ODφ1″
　　排水口管徑：ODφ63mm
　　設備廢氣排風量：≥8500L／min／每個排風口
　　化學液排放：ODφ40mm
　　電源：～380V&plun;38V 50Hz 三相五線制
　　功率：3kW
　　外形尺寸（長×寬×高）：
　　6400mm（含上、下料）×1400mm×2300mm（含排風接口）
　　重量：2100kg
　　
　　設備結構及工作原理
　　如圖1所示。NXXD-SH-20型去硅料清洗機清洗機主要由由機架、排風系統(tǒng)、工藝處理部分（包括一個腐蝕槽、一個DI水清洗槽、一個水中傳遞槽、三個聲槽、及一個三級溢流槽）、上下料系統(tǒng)、傳動系統(tǒng)、水路、氣路控制系統(tǒng)以及電氣控制系統(tǒng)等組成。