一、設(shè)備概要：
1. SPP-600S 是半自動通用拋光型設(shè)備，不可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭，可實現(xiàn)高的吞吐量。它具有的軟件和觸摸屏，使用操作方便。
二、設(shè)備構(gòu)成：
1. 拋光頭：
一個定盤，兩個拋光頭同時工作，可實現(xiàn)高的吞吐量；
可編程（包括轉(zhuǎn)速）并單獨控制每個拋光頭；
夾緊機構(gòu)為真空吸附固定或利用晶圓表面張力進行固定；
裝備有保護圈以均勻性和邊緣輪廓；
拋光壓力基于實時監(jiān)控；
具有擺動功能；
2. 定盤：
水冷系統(tǒng)可穩(wěn)定運行
3. 修整主軸：
裝有修整頭；
修整壓力靠頭的自重；
4. 外殼：
全密封；
互鎖門；
5. 觸摸屏：
9.5 寸全彩屏；
GUI 操作面板；
4 級程序控制；
6. 供液單元：
使用羅拉泵可實現(xiàn)穩(wěn)定供液。
三、設(shè)備指標：
1. 適用晶圓尺寸厚度晶圓尺寸： 3 - 8 英寸
2. 設(shè)備尺寸及重量尺寸： 1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)
3. 廠務(wù)條件電力要求： 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz
壓縮空氣壓力： ≧5.0 Kg/cm2
去離子水壓力： 1.0-1.5Kg/cm2
去離子水流量： 5 升/分鐘
排氣量： 3m3/分鐘
冷卻水（真空泵用）： 壓力：2.0Kg/cm2
流量：大于3 升/分鐘
冷卻水（拋光定盤冷
卻系統(tǒng)用）：
壓力：2.0Kg/cm2
流量：大于3 升/分鐘
