HR3000III
具有前開式晶圓盒
開放式晶圓匣
具有剝離觸發(fā)器，因此具有穩(wěn)定的剝離效果
通過對剝離棒的準(zhǔn)確控制可實現(xiàn)較低應(yīng)力的剝離
可通過觸摸面板和配方功能實現(xiàn)簡易操作
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可添設(shè)晶圓映射掃描儀
合 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)
可用晶圓尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圓厚度：100 um 或更厚
吞吐量：60晶圓/小時
HR3000III
具有前開式晶圓盒
開放式晶圓匣
具有剝離觸發(fā)器，因此具有穩(wěn)定的剝離效果
通過對剝離棒的準(zhǔn)確控制可實現(xiàn)較低應(yīng)力的剝離
可通過觸摸面板和配方功能實現(xiàn)簡易操作
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可添設(shè)晶圓映射掃描儀
合 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)
可用晶圓尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圓厚度：100 um 或更厚
吞吐量：60晶圓/小時
HR3000III
具有前開式晶圓盒
開放式晶圓匣
具有剝離觸發(fā)器，因此具有穩(wěn)定的剝離效果
通過對剝離棒的準(zhǔn)確控制可實現(xiàn)較低應(yīng)力的剝離
可通過觸摸面板和配方功能實現(xiàn)簡易操作
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可添設(shè)晶圓映射掃描儀
合 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)
可用晶圓尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圓厚度：100 um 或更厚
吞吐量：60晶圓/小時
