產(chǎn)品應(yīng)用：應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域，適用2～8英寸工藝尺寸
　　
　　產(chǎn)品特點：
　　◆主機(jī)為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架，完成不同的工藝或相同工藝
　　◆工業(yè)計算機(jī)控制系統(tǒng)，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動作進(jìn)行自動控制
　　◆采用懸臂送片器：操作方便、無摩擦污染等
　　◆關(guān)鍵部件均采用，設(shè)備的高性
　　◆工藝管路采用閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管路），流量控制采用質(zhì)量流量計（MFC）
　　◆控溫高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好；
　　◆具有斷電報警、溫報警、限溫報警等多種保護(hù)功能
　　◆高質(zhì)量的加熱爐體，恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命
　　
　　主要技術(shù)指標(biāo)
　　1、工藝說明
　　1.1氧化：干氧工藝，濕氧工藝（去離子水、氫氧合成-內(nèi)／外點火）
　　1.2擴(kuò)散：硼擴(kuò)、磷擴(kuò)（液態(tài)源、固態(tài)源等）
　　1.3合金、退火等工藝
　　
　　2、系統(tǒng)組成：主機(jī)（加熱體、石英／SiC管、功率組件等）、自動送片（懸臂-SiC）凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)（氣源柜）、計算機(jī)控系統(tǒng)等組成
　　3、控制方式：手動送片／自動送片
　　
　　4、配置（可選）：
　　4.1儀表控制／計算機(jī)控制
　　4.2工藝管（水平結(jié)構(gòu)）：1-4管
　　4.3工藝規(guī)格：2～6英寸晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片（工藝腔體為石英或碳化硅）
　　4.4恒溫度：1100mm／800mm／600mm／450mm
　　4.5晶圓裝載：懸臂式，剛玉／碳化硅桿，碳化硅槳
　　4.6工作臺：有凈化／無凈化
　　4.7工藝氣路：對應(yīng)的工藝氣路，氣路閥門組件采用國際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品（如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC國際優(yōu)質(zhì)（如MKS、UNIT、STEC等）或國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)
　　
　　5、主要技術(shù)參數(shù)：
　　5.1工作溫度：200～1300℃
　　5.2加熱體控制點：3／5點
　　5.3爐體恒溫區(qū)：450mm／600mm／800mm／1100mm
　　5.4恒溫區(qū)：＞800℃／&plun;0.5℃，＜800℃／&plun;1℃
　　5.5單點溫度穩(wěn)定性：600～1300℃／&plun;0.5℃／24h
　　5.6可控升溫速度：15℃／min
　　5.7降溫速度：5℃／min（900～1300℃）
　　5.8供電：三相四線，380VAC／50Hz
　　
　　6、結(jié)構(gòu)尺寸：
　　6.1 結(jié)構(gòu)：水平擴(kuò)散爐