產(chǎn)品應(yīng)用：為 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、太陽(yáng)能電池行業(yè)、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、等領(lǐng)域。　　
　　氣瓶柜／氣瓶架采用國(guó)際通行的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及工作原理，高純易燃易爆腐蝕有毒氣體地為相應(yīng)的設(shè)備提供工藝氣體。

　　功能：正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結(jié)束的排空回充及正常使用的工作狀態(tài)指示、異常報(bào)警（如負(fù)壓異常、泄露、煙霧火等等）及相應(yīng)的關(guān)聯(lián)響應(yīng)等。排空一般采用的是文丘里原理（根據(jù)客戶(hù)要求可采用真空泵排空方式等）。
　　氣瓶柜裝有爆玻璃，氣路管件均采用優(yōu)質(zhì)的管道（EP級(jí)SWAGELOK自動(dòng)軌道焊接等）、閥門(mén)、VCR接口均采用SWAGELOK、PARK及APTECH，泄漏檢測(cè)、延誤火報(bào)警均采用優(yōu)質(zhì)品牌。
　　
　　主要技術(shù)特點(diǎn)
　　◆按瓶數(shù)分類(lèi)：?jiǎn)纹抗瘢埽抗瘢埽抗瘢埽钠抗瘢埽?
　　◆按氣體分類(lèi)：氣瓶柜（易燃\易爆\腐蝕\有毒\高純氣體）、氣瓶架（高純氣體，如高純氧氣、氬氣等）
　　◆完善的報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測(cè)報(bào)警（如SiH4、pH3、HCl等泄漏報(bào)警）、煙霧、火報(bào)警等
　　◆控制方式：“觸摸屏＋PLC”全自動(dòng)控制（含手動(dòng)控制）
　　◆氣路管件：，管道為EP級(jí)（CARDINAL／SANDVIK）、閥門(mén)焊接頭為 SWAGELOK或相當(dāng)、減壓閥為PARK或相當(dāng)、VCR接口及自動(dòng)軌道焊接
　　◆氣瓶柜留有排氣口，并具有負(fù)壓檢測(cè)
　　◆氣路設(shè)計(jì)合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能
　　◆氣瓶柜內(nèi)裝有氣瓶稱(chēng)重裝置，可即時(shí)觀察氣瓶重量。