主要用于在125mm×125mm或156mm×156mm太陽能硅片上淀積氮化硅減反射鈍化膜。
產品特點：
◆送片方式：懸臂/軟著陸（推薦）
◆射頻電源、壓力控制系統(tǒng)、干泵等。
◆數控鈑金機床加工，整機結構合理，同類設備。
◆滿足用戶的技術指標要求，突出產品的穩(wěn)定性，一致性。
◆工控機自動控制系統(tǒng)，工藝過程參數顯示、修改、記錄等，操作更加直觀便捷；
◆設備操作方便，模塊化設計，使用及維護方便；
◆方便的溫區(qū)調整方式（或自動溫區(qū)調整）更加快捷；
◆高質量的加熱爐體，恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命。
主要技術指標：
◆工藝片數：125mm×125mm/256片/批，156mm×156mm/216片/批
◆爐體口徑：適應石英管外徑φ400mm
◆工作溫度范圍：150〜500℃
◆恒溫度及：1100mm/&plun;1.5℃
◆懸臂式送料裝置：50mm/min〜900mm/min連續(xù)可調
◆壓力控制范圍：100〜300Pa（閉環(huán)連續(xù)可調）
◆限真空度：1Pa
◆反射膜均勻性：片內≤&plun;4%，片間≤&plun;4%，批間≤&plun;5%
◆沉積均勻性：≤&plun;5%
◆內置的Profile TC 實時顯示工藝過程恒溫區(qū)內前、中、后三點的實際溫度。
產品特點：
◆送片方式：懸臂/軟著陸（推薦）
◆射頻電源、壓力控制系統(tǒng)、干泵等。
◆數控鈑金機床加工，整機結構合理，同類設備。
◆滿足用戶的技術指標要求，突出產品的穩(wěn)定性，一致性。
◆工控機自動控制系統(tǒng)，工藝過程參數顯示、修改、記錄等，操作更加直觀便捷；
◆設備操作方便，模塊化設計，使用及維護方便；
◆方便的溫區(qū)調整方式（或自動溫區(qū)調整）更加快捷；
◆高質量的加熱爐體，恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命。
主要技術指標：
◆工藝片數：125mm×125mm/256片/批，156mm×156mm/216片/批
◆爐體口徑：適應石英管外徑φ400mm
◆工作溫度范圍：150〜500℃
◆恒溫度及：1100mm/&plun;1.5℃
◆懸臂式送料裝置：50mm/min〜900mm/min連續(xù)可調
◆壓力控制范圍：100〜300Pa（閉環(huán)連續(xù)可調）
◆限真空度：1Pa
◆反射膜均勻性：片內≤&plun;4%，片間≤&plun;4%，批間≤&plun;5%
◆沉積均勻性：≤&plun;5%
◆內置的Profile TC 實時顯示工藝過程恒溫區(qū)內前、中、后三點的實際溫度。
