產(chǎn)品簡介
　　大型樣品室，分析型物鏡，可同時接配EDS/WDS/EBSD，在觀察精細形貌同時，做化學成分和晶體結構定性定量分析。五軸馬達驅(qū)動樣品臺，渦輪分子泵真空系統(tǒng)，由酷塞目［COXEM］NanoStation計算機導航自動操作，輕松自如。
　　CX-200TA標配SE探測器，觀察表面精細形貌形態(tài)；可選配BSE探測器，觀察材料成分反差像，同時可擴展低真空觀察模式，非導電樣品可直接觀察；可選配全套的X射線微區(qū)分析附件（EDS、WDS，EBSD）原位實現(xiàn)化學成分定性定量，及微區(qū)晶體結構定性定量分析；可選配＋CCD樣品室監(jiān)控附件。
　　
　　技術指標：
　　分辨率：
　　3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI）
　　4.0nm（30kV，BSEI）
　　放大倍數(shù)：10x~300，000x
　　加速電壓　0.5kV~30kV
　　電子：三級自給偏壓，偏壓電阻可自動/手動調(diào)節(jié)，預對中發(fā)叉式鎢絲陰
　　樣品室：內(nèi)徑φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS　EBSD等分析附件。
　　樣品臺及行程：計算機導航全自動機械對中樣品臺
　　X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360°
　　真空系統(tǒng)：帶護的自動高真空系統(tǒng)，渦輪分子泵260升/秒＋旋片式機械泵100L/min
　　真空度實時顯示。
　　高真空：樣品室處真空度7.5x10-5　Torr，
　　低真空：樣品室　1-270Pa