產(chǎn)品簡(jiǎn)介
　　大型樣品室，分析型物鏡，可同時(shí)接配EDS/WDS/EBSD，在觀察精細(xì)形貌同時(shí)，做化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)定性定量分析。渦輪分子泵真空系統(tǒng)，操作維護(hù)簡(jiǎn)單方便。
　　CX-200TM標(biāo)配SE探測(cè)器，觀察表面精細(xì)形貌形態(tài)；可選配BSE探測(cè)器，觀察材料成分反差像，同時(shí)可擴(kuò)展低真空觀察模式，非導(dǎo)電樣品可直接觀察；可選配全套的X射線微區(qū)分析附件（EDS、WDS，EBSD）原位實(shí)現(xiàn)化學(xué)成分定性定量，及微區(qū)晶體結(jié)構(gòu)定性定量分析。
　　
　　技術(shù)參數(shù)：
　　分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI）
　　4.0nm（30kV，BSEI）
　　放大倍數(shù)：10x~300，000x
　　加速電壓　0.5kV~30kV
　　樣品室：內(nèi)徑φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS　EBSD等分析附件。
　　樣品臺(tái)及行程：五軸樣品臺(tái)，Z軸為自動(dòng)，其余手動(dòng)
　　X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360°
　　樣品尺寸：160mm（直徑）X　71mm（高度） 真空系統(tǒng)：帶護(hù)的自動(dòng)高真空系統(tǒng)，渦輪分子泵260升/秒＋旋片式機(jī)械泵100L/min
　　真空度實(shí)時(shí)顯示。
　　高真空：樣品室處真空度7.5x10-5　Torr，
　　低真空：樣品室　1-270Pa