產(chǎn)品
　　NCS-R80無接觸厚度電阻率測試儀是一款用于硅片的厚度、電阻率測量的儀器，該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料，的設(shè)計都合ASTM（美國材料實驗協(xié)會）和Semi標(biāo)準(zhǔn)，與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
　　
　　特征
　　■無接觸傷測量
　　■電阻率和厚度同時測量
　　■適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料
　　■電腦觸摸屏顯示
　　■干擾強，穩(wěn)定性好
　　■強大的工控機控制和大屏幕顯示
　　■一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
　　■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量
　　
　　技術(shù)指標(biāo)
　　■測試尺寸：50mm-300mm.
　　■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
　　■厚度測試：＋/-0.25um
　　■厚度重復(fù)性：0.050um
　　■TTV 測試：＋/-0.05um
　　■TTV重復(fù)性：0.050um
　　■電阻率測試范圍：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
　　■電阻率測試：＋/-2%
　　■電阻率測量重復(fù)：＋/-1%
　　■晶圓硅片導(dǎo)電型號：P 或 N型
　　■材料：Si，GaAs，InP，Ge等幾乎半導(dǎo)體材料
　　■可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測等
　　■平面/缺口：的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口
　　■硅片安裝：裸片，藍(lán)寶石/石英基底，黏膠帶
　　■連續(xù)5點測量