| 產(chǎn)品名稱 | PVD1010A | 數(shù)量 |
| 真空機(jī)組 | *2X-30旋片泵一臺(tái)（成都南光） *2X-70旋片泵一臺(tái)（成都南光） *RTO·300S羅茨泵一臺(tái)（上海萃曼） *K-500T擴(kuò)散泵一臺(tái)（沈陽真龍） *閥門：GDZ500C高閥為不銹鋼結(jié)構(gòu)，前級(jí)閥、預(yù)抽閥為不銹鋼結(jié)構(gòu)GDQ100型，維持閥DDC65、壓差閥DDC80為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥； *管道為全不銹鋼結(jié)構(gòu)。 *DB500冷阱為碳鋼（沈陽真龍）。 | 1套 |
| 罐體 | *304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸?1000X1000mm，兩個(gè)平面靶，抽氣口兩側(cè)分二列布置六個(gè)弧源位，門上兩個(gè)觀察窗。 *燈絲支桿一套； *工件支桿3套（36支），?8mm； *內(nèi)襯板2套（厚度1mm）； *布?xì)夤苈罚? *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變30KW（珠海盛普） | 1臺(tái) |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞佳） | 6臺(tái) |
沈陽威利德真空技術(shù)有限公司
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