| 產(chǎn)品名稱 | PVD1212 | 數(shù)量 |
| 真空系統(tǒng) |
*2X-30旋片泵一臺（南光）； *2X-70旋片泵一臺（南光）； *RTO·300S羅茨泵一臺（上海萃曼）； *K400T擴散泵二臺（蘭州真空）； *閥門：前級閥、預抽閥、維持閥以上為GDQ100型不銹鋼結(jié)構(gòu)，GDZ400D/T高閥位不銹鋼結(jié)構(gòu)；DDC-JQ80型電磁真空帶充氣閥為上海二閥產(chǎn)品，旁通閥位羅茨泵內(nèi)安裝閥； *不銹鋼管道。 |
1套 |
| 真空室 |
*罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸Φ1250*1100mm，內(nèi)壁厚8mm，水冷套壁厚4mm，灌體抽氣口兩側(cè)預留八個弧源口，門兩側(cè)各布置一個圓柱靶筒，上蓋布置兩個圓柱靶法蘭（預留）； *掛桿兩套； *內(nèi)襯板2套； *布氣管路； *弧源擋板； *二位五通電磁閥為德國BURKERT產(chǎn)品。 |
1套 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普） | 1臺 |
| 中頻電源 | 中頻逆變MF40KW（珠海盛普） | 2臺 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 8臺 |
沈陽威利德真空技術(shù)有限公司
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