| 產(chǎn)品名稱(chēng) | PVD1516 | 數(shù)量 |
| 真空系統(tǒng) | ?*2X-70旋片泵三臺(tái)（成都南光） *RTO300S羅茨泵一臺(tái)（上海萃曼） *KT500擴(kuò)散泵二臺(tái)（沈陽(yáng)真龍） *閥門(mén)：GDZ2×500C高閥、前級(jí)閥、預(yù)抽閥、維持閥為不銹鋼結(jié)構(gòu)GDQ100型，DDC65、壓差閥DDC80為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥。 *管道為全不銹鋼結(jié)構(gòu)。 *DB500冷阱為碳鋼（沈陽(yáng)真龍）。 | 1套 |
| 真空室 | ?*罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸?1500X1600mm，抽氣口兩側(cè)分四列布置12個(gè)弧源位，門(mén)上兩個(gè)觀察窗。 *工件支桿2套（16支），?19mm； *內(nèi)襯板2套（厚度1mm）； *布?xì)夤苈罚? *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 12臺(tái) |
沈陽(yáng)威利德真空技術(shù)有限公司
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