| 產(chǎn)品名稱 | PVD1210A | 數(shù)量 |
| 真空系統(tǒng) |
1.2x30旋片泵一臺（南光）； 2.2x70旋片泵一臺（南光） 2.RTO·300S羅茨泵一臺（上海萃曼）； 3.KT400擴(kuò)散泵兩臺（蘭州真空）； 4.閥門：前級閥、預(yù)抽閥、維持閥以上為GDQ100型不銹鋼結(jié)構(gòu)，DDC-JQ65、DDC-JQ80型電磁真空帶充氣閥為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥； 5.管道為全不銹鋼結(jié)構(gòu)，羅茨泵、機(jī)械泵出口連接為波紋管連接。 |
1套 |
| 真空室 |
1.罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸Φ1200x1000mm，內(nèi)壁厚8mm，外壁厚4mm，上蓋板布置2對（4支）磁控靶，罐體兩側(cè)預(yù)留一對平面靶孔位，抽氣口兩側(cè)排布兩組6支弧源，門上兩個觀察窗； 2.工件支桿2套?8mm； 3.內(nèi)襯板2套； 4.布?xì)夤苈罚?BR>5.放氣閥加裝空氣濾清器； 6.轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架，帶屏蔽罩。 |
1套 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普） | 1臺 |
| 中頻電源 | 中頻逆變MFMS-40KW（深圳新達(dá)） | 2臺 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 6臺 |
沈陽威利德真空技術(shù)有限公司
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