| 產(chǎn)品名稱 | PVD1612 | 數(shù)量 |
| 真空系統(tǒng) |
1.預抽泵2x70旋片泵一臺（南光）； 2.維持泵2x70旋片泵一臺（南光）； 3.RTO·300S羅茨泵一臺（上海萃曼）； 4.F400/3500分子泵三臺； 5.閥門：前級閥、預抽閥、維持閥以上為GDQ100型不銹鋼結(jié)構(gòu)，GDZ400D/T髙閥為不銹鋼結(jié)構(gòu)；DDC-JQ80型電磁真空帶充氣閥為上海二閥產(chǎn)品，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥； 6.不銹鋼管道。 |
1套 |
| 真空室 |
1.罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸Φ1600x1200mm，內(nèi)壁厚10mm，水冷套壁厚4mm，罐體抽氣口兩側(cè)留六個弧源口，上蓋板布置六對（12支）圓柱靶位（可與平面靶互換），其中兩對預留； 2.掛桿2套； 3.內(nèi)襯板2套； 4.布氣管路。 |
1套 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變PLS30KW（珠海盛普） | 1臺 |
| 中頻電源 | 中頻逆變MF40KW（珠海盛普） | 4臺 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 6臺 |
沈陽威利德真空技術(shù)有限公司
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