| 產(chǎn)品名稱(chēng) | PVD1612B | 數(shù)量 |
| 真空系統(tǒng) |
1.2x30旋片泵一臺(tái)（成都南光）； 2.2x70旋片泵一臺(tái)（成都南光） 2.RTO·300S羅茨泵一臺(tái)（上海萃曼）； 3.KT-500擴(kuò)散泵兩臺(tái)（沈陽(yáng)真龍）； 4.閥門(mén)：前級(jí)閥、預(yù)抽閥、維持閥以上為GDQ100型不銹鋼結(jié)構(gòu)，DDC-JQ80型電磁真空帶充氣閥為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥； 5.管道為全不銹剛結(jié)構(gòu)，擴(kuò)散泵出口為波紋管連接。 |
1套 |
| 真空室 | *罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸?1600X1200mm，抽氣口兩側(cè)分二列布置10個(gè)弧源位，一支中柱靶門(mén)上兩個(gè)觀察窗。 *工件支桿2套（40支），?14mm； *內(nèi)襯板2套（厚度1mm）； *布?xì)夤苈罚? *放氣閥加裝空氣濾清器*轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 10臺(tái) |
沈陽(yáng)威利德真空技術(shù)有限公司
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